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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>6 清洗設(shè)備>> WE3102系列12英寸槽式清洗設(shè)備
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號WE3102系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2025-06-05 13:05:25瀏覽次數(shù)：637次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
1. 產(chǎn)品概述
WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。
2. 設(shè)備用途/原理
WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩(wěn)定性，超高的補(bǔ)水精度，精準(zhǔn)的蝕刻速率控制，優(yōu)秀的干燥效果。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝 爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控?fù)跗厥?/span>。適用域 新興應(yīng)用、集成電路。
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