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12英寸單片清洗設(shè)備返回列表頁

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產(chǎn)品型號Saqua SC3080A系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

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更新時間：2025-06-05 13:03:49瀏覽次數(shù)：526次

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	面議
應用領(lǐng)域	綜合

產(chǎn)地類別

國產(chǎn)

價格區(qū)間

面議

應用領(lǐng)域

綜合

1. 產(chǎn)品概述

Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設(shè)備。

2. 設(shè)備用途/原理

Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設(shè)備，精密的腔室微環(huán)境控制能力，支持多種化學品，高效的化學品回收效率，4 腔或 8 腔可選。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12 英寸，適用材料單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介質(zhì)膜、金屬膜。適用工藝后段 Cu/Al 制程刻蝕后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蝕，后段控擋片回收。適用域新興應用、集成電路、優(yōu)良封裝。百科：?單片清洗設(shè)備主要用于清洗半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。?單片清洗設(shè)備是半導體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，特別是在硅片制造、晶圓制造及芯片封裝等場景中發(fā)揮著重要作用。這些設(shè)備通過采用旋轉(zhuǎn)噴淋、超聲波、氣泡等方式逐片清洗晶圓，確保半導體器件的潔凈度和性能。