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深圳市矢量科學儀器有限公司

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硅片腐蝕清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號customized

品牌英斯特

廠商性質經銷商

所在地南通市

更新時間:2025-06-06 13:17:39瀏覽次數:463次

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英思特長期致力于半導體等行業(yè)干濕制程設備、自動供/排液系統(tǒng)、甩干機等設備的設計、生產、銷售及設備的優(yōu)化。期待與您的合作!

1. 產品概述:

主要適用于對 2 英寸至 8 英寸的硅片進行腐蝕清洗,以滿足半導體制造等相關領域對硅片表面處理的嚴格要求 

2. 設備應用:

顯影制程,蝕刻(微蝕刻)制程,去光阻清洗制程,去蠟(膠)清洗制程,精密清洗制程,光罩去光阻清洗制程

3. 設備特點:

適用對象:藍寶石晶片、砷化鎵晶片、碳化硅晶片、其它襯底基片       

基本規(guī)格: 機臺封面 聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)Or China SUS板材(厚度≧2mm)機臺主機強度結構  整體骨架表面噴涂處理Or China SUS矩形材(厚度≧2mm)機臺視窗透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or  China 鋼化玻璃(厚度≧5mm)

選配模塊: 1.腐蝕液恒溫系統(tǒng) 

                  2.腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)  

                  3.超(兆)聲系統(tǒng)  

                  4.全自動供液系統(tǒng)

                  5.更全面的全自動烘干系統(tǒng) 

                  6.消防系統(tǒng) 

                  7.可結合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理

 

機臺特點: 1.蝕刻工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性

                  2.QDR沖洗模塊非常見排序式,可根據制程工藝設定

                  3.集成自動烘干系統(tǒng)

                  4.管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品,配置模組化,維護保修便利,非期貨庫存品工廠內均建立安全存                      量

                  5.全自動化控制,幾何曲線加減速運動,沖擊小,運動平穩(wěn),機械臂定位精度高

                  6.多級別用戶工藝數據庫,可供用戶使用和存儲

                  7.作業(yè)區(qū)內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人聲安全

                  8.客制化設計能力佳,高設計能力滿足客戶制程工藝需要

 

機械臂裝置:Robo的工藝路徑種N種(設備出廠前載入PLC內)

                    機械手傳送定位精度≦ 0.3mm   

                    機械臂走向前后位移一對一

                    轉向、前后、左右、上下位移一對四

                    全程轉向左右、前后、上下位移一對多槽等




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