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當前位置：深圳市矢量科學儀器有限公司>>其他前道工藝設備>>1 蒸發(fā)設備>> ei系列Batch式高真空蒸發(fā)設備
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號ei系列
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地國外
更新時間：2025-06-05 14:18:14瀏覽次數(shù)：473次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 操作壓力 | 其他 | 結構形式 | 立式 |
|---|---|---|---|
| 外形 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
| 運動狀況 | 其他 |
1. 產(chǎn)品概述
Batch式高真空蒸發(fā)設備ei系列是可對應在基板上成金屬膜或氧化物膜的設備。可通過操作面板實現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)。
2. 設備用途/原理
Power Device等化合物相關。LED、LD、高速device。各種實驗用。其他各種電子部件。
3. 設備特點
可搭載多樣蒸發(fā)源（EB、電阻式、EB+電阻式）。對應不同制程可選多種基板holder（lift-off、行星式、衛(wèi)星式等）。φ2 in? 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷燈各種基板對應。液晶觸控板集中現(xiàn)實操作。集成電腦擁有優(yōu)異的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。
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