一、CIF手套箱專用等離子清洗機 產(chǎn)品簡介
CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設(shè)備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便，性能穩(wěn)定，實用性強，容易維護。
二、CIF手套箱專用等離子清洗機 產(chǎn)品特點
1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機器運行、停止提示。
2. PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
3. 真空倉體，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
4. 自動匹配器，功率無極可調(diào)。
5. 采用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計，雙路氣體控制氣體流量，可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體，氣體分配均勻，經(jīng)濟實用。
6. HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
7. 弧形等離子激發(fā)板，等離子激發(fā)能力更強。
8. 分體式設(shè)計，便于手套箱內(nèi)使用。
9. 安全保護，倉門打開，自動關(guān)閉電源。
三、技術(shù)參數(shù)
型號 | VGB3 | VGB3Plus |
艙體尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
艙體容積 | 3L | 3L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 雙浮子流量計（標配） | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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