Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜是一款专为半导体制造、面板显示以及光伏等工业领域设计的多维度自动检测设备。

主要特点

自动对焦和激光缺陷标记：

配备自动对焦功能，显著提高检测效率。

激光缺陷标记功能可以精确标记缺陷位置，便于进一步处理。

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基于蔡司光学设计，采用?？榛杓评砟睿ü缍灰铺ê透鞴δ苣？榈呐浜?，实现晶圆级样品的自动上下料和多维度检测。

多维度的自动检测：

可在多个维度上进行加工选择和自动检测，满足高质量检测需求。

一键式自动生成测试报告：

自动生成测试报告，确保工作流程的一致性和可追溯性。

Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜技术优势

高效的工作模式：

提供多种电动选件，结合硬件和软件算法，实现大图拼接、景深融合和微区加工等功能，极大缩短检测时间。

景深融合技术：

通过图像处理算法，将不同焦平面的图像融合为单张全视野清晰图像，获取三维细节。

搭配AI算力模型，可直接进行目标识别和分类，减少人为误差，提高检测效率和准确性。

大图拼接技术：

将多个相邻视场的显微图像无缝拼接为单张高分辨率全景图像，结合低倍导航图与高倍率细节图，消除视野盲区。

拼接后的大图可用于导航和区域选择，配合激光缺陷标记?？椋迪志芳庸ず图す庑薷?，提升工作效率。

应用领域

半导体制造：在线检测晶圆的台阶高度、平面度、粗糙度等关键参数，避免测量过程中的损伤，提高生产效率和产品质量。

面板显示：支持大尺寸晶圆的拼接和导航寻图功能，快速检测和分析显示面板。

光伏行业：用于太阳能硅片检测，确保高效准确的检测和分析。