高效、準(zhǔn)確 晶圓級檢測顯微鏡產(chǎn)品介紹：

一、智能快速的自動(dòng)對焦

配置自動(dòng)對焦模塊，采用660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺和高幀率觀測相機(jī)。

通過高度協(xié)同性和軟件算法，快速確定樣品聚焦平面并保持持續(xù)追焦。

解決手動(dòng)調(diào)焦問題，提供高質(zhì)量輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代。

支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級此配件。

二、智能高效的激光缺陷標(biāo)記

配置激光缺陷標(biāo)記模塊，采用450nm和532nm的雙激光組合。

實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識深度結(jié)合，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系。

支持多種亞微米級激光應(yīng)用，提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)。

三、導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對比、準(zhǔn)確定位

導(dǎo)航圖預(yù)覽功能快速了解晶圓整體布局和結(jié)構(gòu)，節(jié)省尋找特定區(qū)域時(shí)間。

軟件中高級圖像分析能力實(shí)現(xiàn)晶圓實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙實(shí)時(shí)對比。

激光標(biāo)記功能直接標(biāo)記需改善位置，便于優(yōu)化參數(shù)和制造工藝。

四、第三方兼容，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)

兼容晶圓搬運(yùn)模組，實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料。

五、主要模塊介紹

XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺模組

精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

帶離合器手柄，可快速移動(dòng)

Z軸運(yùn)動(dòng)臺

配備電傳手輪和碼盤

微調(diào)精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

物鏡模組

采用蔡司原裝的手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡，EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡

光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺（4英寸，6英寸和8吋）

保留透射光路，支持液晶面板檢測功能

成像觀察模組

適配蔡司Axiocam系列相機(jī)，海康威視系列相機(jī)

適配蔡司目鏡（選配）

提供明場/暗場觀察方式，可選配微分干涉、熒光和偏光觀察方式

遠(yuǎn)程控制手柄

物鏡切換、照明光強(qiáng)控制、反射/透射照明切換

電傳Z軸聚焦旋鈕，XY運(yùn)動(dòng)軸遙感

缺陷標(biāo)記和主動(dòng)對焦快速確定按鈕

主動(dòng)對焦模組

兼容主動(dòng)對焦模組，實(shí)現(xiàn)50×物鏡下實(shí)時(shí)對焦功能

缺陷標(biāo)記模組

兼容缺陷標(biāo)記模組，實(shí)現(xiàn)樣品缺陷部分實(shí)時(shí)標(biāo)記

晶圓搬運(yùn)模組

兼容晶圓搬運(yùn)模組，實(shí)現(xiàn)晶圓片自動(dòng)上下料

高效、準(zhǔn)確 晶圓級檢測顯微鏡憑借其自動(dòng)對焦、激光缺陷標(biāo)記、導(dǎo)航預(yù)覽和第三方兼容性等功能，為科研和工業(yè)檢測提供了高效、精準(zhǔn)、全面的解決方案。