Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜提供了一种“交钥匙”式的晶圆检查解决方案，旨在为客户提供简单易用的操作环境，集成符合人体工学的观察目镜、远程控制手柄和强大的操作软件等配置。

Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜主要特点：

自动对焦和激光缺陷标记：

配备自动对焦功能，显著提高检测效率。

激光缺陷标记功能可以精确标记缺陷位置，便于进一步处理。

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基于蔡司光学设计，采用?？榛杓评砟睿ü缍灰铺ê透鞴δ苣？榈呐浜?，实现晶圆级样品的自动上下料和多维度检测。

多维度的自动检测：

可在多个维度上进行加工选择和自动检测，满足高质量检测需求。

一键式自动生成测试报告：

自动生成测试报告，确保工作流程的一致性和可追溯性。

技术优势

高效的工作模式：

提供多种电动选件，结合硬件和软件算法，实现大图拼接、景深融合和微区加工等功能，极大缩短检测时间。

景深融合技术：

通过图像处理算法，将不同焦平面的图像融合为单张全视野清晰图像，获取三维细节。

搭配AI算力模型，可直接进行目标识别和分类，减少人为误差，提高检测效率和准确性。

大图拼接技术：

将多个相邻视场的显微图像无缝拼接为单张高分辨率全景图像，结合低倍导航图与高倍率细节图，消除视野盲区。

拼接后的大图可用于导航和区域选择，配合激光缺陷标记?？?，实现精确加工和激光修复，提升工作效率。

实时测量与数据处理

实时测量：通过自动对焦模组，实时采集待测样品多个维度下的信息，进行特征线性尺寸、角度、圆直径、矩形边等基础测量。

数据本地实时处理：基于嵌入式处理单元搭建模型环境，实现数据本地实时处理和模型训练，避免数据传输或云端引入的延迟，实时进行二维材料层数识别或光学元器件的自动分拣，生成最终的检测报告。

延续蔡司品质

ICCS光学优势：整合蔡司的光学优势，提供明场、暗场、DIC、偏光以及荧光等多种方式来对样品进行观察和检测，确保更好的光学成像效果。

丰富的物镜选项：蔡司物镜提供的光学性能，通过高分辨率图像显示微小特征结构，无论是材料纹理还是结构细节，都能精准呈现。复消色差物镜在消色差的同时，保证在400-700nm内有更高透过率，并且通过更高的数值孔径实现更高的空间分辨率，适合高精度量测任务。