自动检测 晶圆检查显微镜涵盖了XY手动/电动运动台、Z轴运动台、物镜模组、光源模组、晶圆放置模组、成像观察模组、远程控制手柄、主动对焦模组、缺陷标记模组以及晶圆搬运模组等?？?，旨在为半导体行业提供高效、精准、全面的晶圆检测解决方案。

核心模块介绍

XY手动/电动运动台

精度与行程：XY运动轴精度高达≤2 μm，行程范围为205 mm * 205 mm，确保大范围内的精准定位。

便捷操作：配备离合器手柄，实现快速移动，提高操作效率。

Z轴运动台

双控系统：同时配备电传手轮和码盘，微调精度≤1 μm，行程≥36 mm，满足高精度调焦需求。

物镜模组

品牌合作：采用蔡司原装手动/电动物镜切换装置，兼容多种高质量物镜，包括EpiPlan消色差物镜、EPN半复消色差物镜及EPA复消色差物镜，提供清晰、无畸变的图像。

光源模组

高效照明：提供5W和10W LED透射式光源选项，满足不同照明需求，确保图像亮度和对比度。

晶圆放置模组

多尺寸兼容：载物台可兼容4英寸、6英寸和8吋晶圆片，保留透射光路，支持液晶面板检测，灵活多变。

成像观察模组

相机与目镜适配：适配蔡司Axiocam系列相机和海康威视系列相机，可选配蔡司目镜，提供明场/暗场、微分干涉、荧光和偏光等多种观察方式。

远程控制手柄

集成控制：集成物镜切换、光强控制、照明切换、Z轴聚焦、XY运动轴遥感、缺陷标记和主动对焦等功能，实现一键式操作。

主动对焦模组

实时对焦：兼容主动对焦模组，在50×物镜下实现实时对焦，确保图像始终清晰。

缺陷标记模组

实时标记：兼容缺陷标记模组，可对样品缺陷部分进行实时标记，便于后续处理。

晶圆搬运模组

自动上下料：兼容晶圆搬运模组，实现晶圆片的自动上下料，提高生产效率。

自动检测 晶圆检查显微镜产品优势

高精度：各运动轴及物镜切换装置均具备高精度性能，确保检测结果的准确性。

多功能：集成多种观察方式和辅助功能，满足不同检测需求。

易操作：远程控制手柄设计人性化，操作简便快捷。

兼容性强：可兼容多种尺寸的晶圆片和相机设备，适应性强。

应用领域

该晶圆检测显微镜广泛应用于半导体制造、液晶面板检测、材料科学研究等领域，为各类精密检测提供有力支持。