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產(chǎn)品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圓可放置7片同時處理，6inch晶圓可實現(xiàn)3片同時處理，小尺寸晶圓方面，2inch晶圓可實現(xiàn)29片、3英寸可對應(yīng)12片同時處理。
•搭載了在化合物半導(dǎo)體域擁有600臺以上出貨實績的有磁場ICP（ISM）高密度等離子源。
•高生產(chǎn)性（比以提高140%）。
※1 愛發(fā)科利第3188353號
•為防止RF投入窗的污染搭載了愛發(fā)科星型電。
※2 愛發(fā)科利第3429391號
•貫徹Depo對策，實現(xiàn)了維護便利、長期穩(wěn)定、高信賴性的硬件。
•擁有豐富的工藝應(yīng)用的干法刻蝕技術(shù)（GaN藍寶石、各種metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半導(dǎo)體）。
•豐富的可選機能。
產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
• 對應(yīng)LED的GaN、藍寶石、各種金屬、ITO等的干法刻蝕設(shè)備
產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

1、公司介紹

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團隊孵化，致力泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。

公司主要業(yè)務(wù)如下:

裝備銷售:半導(dǎo)體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。

設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。

廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。

經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復(fù)合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。

2、成長歷程

•2020年（公司成立年）

•2300萬訂單額

2021年 7000萬訂單額

2022年 2.5億訂單額

2023年3.2億訂單額

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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