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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

晶圓貼片機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號XBS200

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間:2025-06-06 08:15:28瀏覽次數(shù):525次

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通用的XBS200平臺可以對尺寸最大為200毫米的晶圓進行對準的晶圓鍵合。它的多功能性和模塊化設(shè)計為所有的鍵合任務(wù)提供了最大的工藝靈活性。一種新穎的對準晶圓傳輸方法消除了傳統(tǒng)系統(tǒng)的復(fù)雜性,并提供了一致的工藝結(jié)果和出色的系統(tǒng)可用性。XBS200平臺為MEMS、LED和3D先進封裝的大批量生產(chǎn)提供了低擁有成本。

1.產(chǎn)品概述:

通用的XBS200平臺可以對尺寸大為200毫米的晶圓進行對準的晶圓鍵合。它的多功能性和模塊化設(shè)計為所有的鍵合任務(wù)提供了大的工藝靈活性。一種新穎的對準晶圓傳輸方法消除了傳統(tǒng)系統(tǒng)的復(fù)雜性,并提供了一致的工藝結(jié)果和出色的系統(tǒng)可用性。XBS200平臺為MEMS、LED和3D先進封裝的大批量生產(chǎn)提供了低擁有成本。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢

該系統(tǒng)可將單個基板運送到單個工藝模塊。它提供不同配置的裝載工位以及基于攝像頭的光學(xué)預(yù)對準器,并可選配 ID 讀取器。選配的攝像系統(tǒng)可監(jiān)控和記錄機器內(nèi)部情況。帶有自動產(chǎn)量優(yōu)化功能的循環(huán)調(diào)度算法可確保所有工序的時間安排一致,并具備連續(xù)運行能力。這種使用聚合物和膠黏劑的鍵合方法可用于許多種材料,如環(huán)氧材料、干性薄膜、BCB、聚酰亞胺及可紫外固化的化合物

3.產(chǎn)品工藝

鍵合力:或 100 kN,重復(fù)性:< 2%

溫度高可達 550 °C,一致性:<1%

鍵合腔壓:5x10-5 mbar – 3 bar

可精確設(shè)置鍵合程序中的各種參數(shù)

可控制速率的加熱/降溫/加減壓功能

快速加熱 (40 K/min) 和冷卻(30 K/min) ,以減少工藝時間





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