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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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8英寸立式爐

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號FLOURIS 201系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2025-06-05 12:44:42瀏覽次數(shù):682次

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FLOURIS 201系列 8英寸立式爐,高精度溫度場控制技術(shù),可實現(xiàn) 1200℃ 內(nèi)氧化退火工藝。

1. 產(chǎn)品概述

FLOURIS 201系列 8英寸立式爐,高精度溫度場控制技術(shù),可實現(xiàn) 1200℃ 內(nèi)氧化退火工藝。

2. 設(shè)備用途/原理

FLOURIS 201系列 8英寸立式爐,高精度溫度場控制技術(shù),可實現(xiàn) 1200℃ 內(nèi)氧化退火工藝,優(yōu)良的顆??刂萍夹g(shù),優(yōu)良的膜厚均勻性控制技術(shù)圖形化操作界面和群組管理系統(tǒng)。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 8 英寸,適用材料 硅、碳化硅。適用工藝 高溫氧化、退火、常壓合金、Polyimide 固化。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。百科:半導(dǎo)體立式爐?的原理主要涉及到半導(dǎo)體材料的熱處理過程,這一過程在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要。立式爐的設(shè)計允許對半導(dǎo)體材料進行精確的溫度控制和氣氛管理,從而促進材料的特定化學(xué)反應(yīng),如外延生長等。

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