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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>10 其他>> FLOURIS 201系列8英寸立式爐
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)FLOURIS 201系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時(shí)間：2025-06-05 12:44:42瀏覽次數(shù)：686次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
FLOURIS 201系列 8英寸立式爐，高精度溫度場控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn) 1200℃ 內(nèi)氧化退火工藝。
2. 設(shè)備用途/原理
FLOURIS 201系列 8英寸立式爐，高精度溫度場控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn) 1200℃ 內(nèi)氧化退火工藝，優(yōu)良的顆粒控制技術(shù)，優(yōu)良的膜厚均勻性控制技術(shù)，圖形化操作界面和群組管理系統(tǒng)。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 8 英寸，適用材料 硅、碳化硅。適用工藝 高溫氧化、退火、常壓合金、Polyimide 固化。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。百科：半導(dǎo)體立式爐?的原理主要涉及到半導(dǎo)體材料的熱處理過程，這一過程在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要。立式爐的設(shè)計(jì)允許對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行精確的溫度控制和氣氛管理，從而促進(jìn)材料的特定化學(xué)反應(yīng)，如外延生長等。
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