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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>4 外延系統(tǒng)>> Esther/Eris 系列8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Esther/Eris 系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 11:20:14瀏覽次數(shù)：468次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設(shè)計保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。
2. 設(shè)備用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計可兼容多種工藝用途。友好的人機交互和安全性設(shè)計保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 常壓：N&P 常壓硅外延，減壓：埋層外延、選擇性外延、多晶外延，適用域 科研、集成電路。
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