KLA iNano®纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µm位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。KLA iNano®纳米压痕仪是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架?？梢圆馐愿髦植牧虾妥爸?，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。

功能

• InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头

• 软件集成压头校准系统，精确的压头校准

• Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µs时间常数

• XY移动系统带有易于安装的磁性样品架

• 具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位

• ISO 14577和标准化测试方法

• 包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包

应用

• 硬度和模量测量(Oliver-Pharr)

• 材料力学性能分布图

• ISO 14577硬度测试

• 聚合物损耗因子

• 高温纳米压痕测试

行业

• 大学、研究实验室和研究所

• 半导体和封装行业

• 聚合物和塑料

• MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试

• 陶瓷和玻璃

• 金属和合金

• 药品

• 涂料和油漆

• 聚合物制造

• 复合材料

• 电池和储能