KLA Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

KLA Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

功能

• 台阶高度：纳米级到 1200 微米

• 微力：0.03 至 15 mg

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 小巧的尺寸：系统占用体积小

• 软件：用户友好的软件界面

应用

• 台阶高度：2D和3D台阶高度

• 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

• 形状：2D和3D翘曲度和形状

• 应力：2D薄膜应力

工业

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能板

• MEMS：微机电系统

• 汽车

• 医疗设备