高温霍尔效应测试仪，霍尔效应系统产品特点：

1、 可靠的精度及重现性
恒电流源(1nA~20mA)采用六级电流范围设置，将可以接收的误差降到低；范德堡法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声；软硬件有针对性的设计，确保每个实验数据均为多次测试的平均值，使仪器拥有非常好的数据重现性。
2、 产品小型化及操作简单化
小尺寸的磁场强度输入系统使用永磁体和液氮低温测量系统(77K)，确保仪器操作非常简单；两种不同尺寸的传统样品板(20*20mm、6*6mm)及带弹簧夹片的样品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量，区别于传统样品板的弹簧夹片样品板使得霍尔电极制作更方便且对样品损伤更小。
3、 I-V曲线及I-R曲线测量
采用图表的方式，测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压及电流-电阻关系，并以此评判样品的欧姆接触好坏、了解样品的基本的电学特性。
4、 多样的实验结果
实验结果由软件自动计算得到，可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。

产品规格：

1、 主要仪器参数 
输入电流：1nA ~ 20mA；

电阻率：10exp(-5) ~ 10exp7 Ω.cm；

载流子浓度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3；

迁移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；

磁场强度：0.37T, 0.55T,  1T, 0.25~1T变场磁体；

样品测量板：PCB样品板，SPCB弹簧样品板，晶圆样品板等；

样品尺寸：5mmX5mm  ~ 20mmX20mm (可选配30mm或2inch大样品板)；

测量温度：常温，77K液氮?。?/span>

2、 软件操作环境 
XP / Win7 / Win8 / Win10环境下
3、 实验结果
体载流子浓度、表面载流子浓度；
迁移率;

霍尔系数；
电阻率,方块电阻；
磁致电阻；
电阻的纵横比率；
4、 仪器尺寸和重量
主机尺寸：360×300×105 mm (W×H×D) 磁体Kit尺寸：200×120×110 mm (W×H×D)；
净重：7.7千克；
5、 测量材料
Si, SiGe, SiC, ZnO, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO等所有半导体薄膜(P型和N型)；

产品组成：

主机(精密恒电流源+范德堡法则终端转换器) / 磁体包(包括样品板) / 软件等。

[HMS-3000软件界面一]

[HMS-3000软件界面二(I-V和I-R曲线测量)]