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疫情阻隔了不少人春節(jié)返鄉(xiāng)的腳步，卻不能阻隔Nano-Master高品質(zhì)的服務(wù)。近日，中科綠谷（深圳）醫(yī)療有限公司購(gòu)買的磁控濺射NSC-3500系統(tǒng)順利安裝驗(yàn)收！

該系統(tǒng)為緊湊型獨(dú)立式PC計(jì)算機(jī)控制的向下濺射系統(tǒng)，具有DC直流濺射能力。用于Au及Cr金屬以及強(qiáng)磁性材料的濺射鍍膜。

系統(tǒng)通過(guò)Lab View軟件和觸摸屏進(jìn)行操作、觀察和控制。設(shè)備提供完整的安全聯(lián)鎖功能，菜單驅(qū)動(dòng)，可以保存無(wú)*的程序，每個(gè)程序可根據(jù)客戶需要設(shè)定多步驟。

系統(tǒng)包含狀態(tài)指示、圖形和文字方式的實(shí)時(shí)顯示。4級(jí)密碼授權(quán)訪問(wèn)控制，全自動(dòng)工藝控制，具有高度的可重復(fù)性和優(yōu)異的控制能力。

Nano-Master磁控濺射的優(yōu)勢(shì)

優(yōu)異的均勻性數(shù)據(jù)（6"晶圓片上鍍金屬薄膜）

均勻度測(cè)試結(jié)果：規(guī)格+/-5%，測(cè)量6"經(jīng)驗(yàn)片上的膜厚，鍍Ti，Pt和Au，總膜厚2800埃。實(shí)際測(cè)量結(jié)果 <1%。詳細(xì)數(shù)據(jù)如下圖。