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Parylene派瑞林真空镀膜机Serie 3000 Standard专为工业级应用设计，是一款经过全面验证的成熟设备，能够满足大规模及高要求的生产任务。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
作为标准配置机型，其包含 2000 系列（无等离子体功能）与 3000 系列（支持等离子体处理）两大产品线。?？榛峁股杓朴肟傻鹘谇皇页叽绲奶匦?，使该经过严格验证的生产设备在生产与涂层工艺中独ju特色。该系统专为工业级应用环境开发；通过扩展腔体容量可有效满足大规模及高要求的生产任务。
Parylene派瑞林真空镀膜机Serie 3000 Standard：
| 尺寸 | L:2095mm W:800mm H:1450mm |
| 重量 | 300kg |
| 腔体容量 | 140/200/300/600/750/800/1000 L |
| 工艺腔体 | 500mm ?，H: 700mm (140 L) 600mm ?，H: 700mm (200 L) 700mm ?，H: 800mm (300 L) |
| 等离子源 | 2.45GHz, 1200 W |
| 气路 | 1 路气体通道（内置工艺腔室的气体分配系统），最多可扩展至 3 路气体通道。 |
| 冷却系统 | 8L（机电式冷阱） |
| 真空连接 | DIN 40 ISO-KF |
| 排气 | 电磁式排气阀 |
| 真空泵 | 75m3/h |
| 电气连接 | 三相五线制，交流 50 Hz，电压 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
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