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派瑞林parylene镀膜设备

参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号Series 3000 LV 600/700

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地国外

更新时间:2025-07-01 14:52:18浏览次数:126次

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派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700为派瑞淋涂覆系统,采用??榛芄?,主要由两个功能??樽槌桑汗ひ涨皇夷?楹驼舴⑵髂??。广泛应用于多个行业,包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。

派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700为派瑞淋涂覆系统,广泛应用于多个行业,包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。


Parylene System Series 3000 LV 600/700 是一款??榛杓频南低常饕闪讲糠肿槌桑呵皇夷?橛胝舴⑵髂?椤N颐侵诙嗌璞妇捎么死嗄?榛杓?,旨在确保系统的灵活性,从而能够根据客户需求对几乎任何组件进行定制化调整。其中,“3000"代表产品系列,而“LV600/700"则用于标识机器腔室的尺寸规格。该尺寸设计主要取决于您单次运行中需要涂覆的基板尺寸及数量要求。  我们所提供的腔室最大容积可达 1000 升。此外,该系统标配等离子源,并可选配旋转工作台、加热/冷却台以及多达 3 个质量流量控制器,以满足不同气体入口的需求。


派瑞林parylene镀膜设备

派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700

尺寸L:2400mm  W:960mm  H:1460mm
重量
350kg
腔体容量
600/700L
工艺腔体800mm? H: 1100mm (600 L) 

800mm? H: 1300mm (700 L)

等离子源2.45GHz, 1200 W
气路1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。
冷却系统
8L(机电式冷阱)
真空连接
DIN 63 ISO-KF
排气
电磁式排气阀
真空泵
抽速75m3/h
电气连接
三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型,也有适用于工业量产领域的工业机型。同时,我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源,实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理,从而提高薄膜的粘附性。另外,我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计,在小占地面积下提供高性能技术,节约大量的超净间占地空间。


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