当前位置:那诺中国有限公司>>沉积系统>>Parylene派瑞林真空镀膜系统>> Labcoater Series 300Parylene派瑞林镀膜机
Parylene派瑞林镀膜机是一款多功能设备,专为实验室应用优化设计,配备内置等离子体源,可用于材料表面预处理。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
该型号的Parylene派瑞林镀膜机具有以下特点:
1、Labcoater Series 300 既适用于科研实验室,也可用于生产环境;
2、特别针对中小型企业和研发团队的需求进行功能优化;
3、通过配置多种可选组件,进一步提升设备的适用性与灵活性,其工艺腔室容积可根据需求调整,最小容积可达 251 L;
4、设备标准配置包含等离子体处理模块;
5、提供洁净室专用版本供选择;
6、可根据实际需要,在四种不同腔体容积中进行选型。
Labcoater Series 300 派瑞林真空镀膜设备:
尺寸 | L:1220mm W:1050mm H:1920mm |
重量 | 110kg |
腔体容量 | 25/35/40/80L |
工艺腔体 | 300mm ?,H: 300mm (25 Liter) 300mm ?,H: 350mm (35 Liter) 450mm ?,H: 500mm (80 Liter |
等离子源 | 2.45GHz,600 W |
气路 | 1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。 |
冷却系统 | 4L(机电式冷阱) |
真空系统 | DIN 40 ISO-KF |
排气 | 电磁式排气阀 |
真空泵 | 抽速50m3/h |
电气连接 | 三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
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