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迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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| 参考价 | 面议 |
更新时间：2025-07-02 10:49:19浏览次数：3528
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池 |
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特点
可处理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圆片
采用真空或微接触夹具针对圆形和方形基板
不同尺寸的圆片/方形片的夹具可容易更换
真空安全联锁功能
触摸屏输入显示 启动、停止及真空操作按钮
可编程速度和加速度 马达转速最大可达8000转/分钟
易拆卸双片腔体本体和防溅环
网络接口
USB接口
选项
? 电子流体输送手臂--移动速度和位置可编程
? 液体喷嘴 – 喷雾型,射流型
? 热流体线，最高80°C
? 真空或微接触夹具 – 不同尺寸
? 可拆卸工艺腔体及防溅环
? 热板
? 热板接近式烘烤, 手动可调接近距离 ? 可编程接近距离热板
? 真空泵
? 附加HMDS热板
性能参数
触摸屏程序输入
? 程序数: 100
? 程序步数: 50
? 最长单步时间: 999秒
? 单步时间分辨率: 0.1秒
旋转马达
? 旋转速度: 最高 8.000 转/分钟*
? 转速分辨率: 1转/分钟
? 旋转精度: ± 2 转/分钟
? 加速度: 最高 50,000 转/分钟/秒* *和基片重量有关
热板
?温度范围: 最高 300°C
?温度分辨率: 0.1°C
? 温度均匀性( 100°C 时) : < ± 0.5°C 动力需求
?电源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A
? 压缩空气: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm
? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm
? N氮气 (选项): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm
设备外形(宽 x 深 x 高):
?落地式柜体: 约 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")
?带水平调节
?不锈钢框架
