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MC方案|采用FR-Scanner绘制硅晶圆上的薄膜涂层

2019-5-28 阅读(1777)

光学膜厚仪 膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪

FR的工具基于白光反射光谱(Reports),准确同步的厚度测量及薄膜的折射率一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电特性的工具和整体解决方案,如:

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