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迈可诺技术有限公司

主营产品: 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机

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UV-KUB 3UV-LED 的紧凑型掩膜对准系统
UV-KUB 3UV-LED 的紧凑型掩膜对准系统
简单介绍:UV-KUB 3 是一种基于掩膜对准系统的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 这是一个非常紧凑的桌面系统,兼容 4 英寸晶圆和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光学装置可提供最大发散角小于 2° 的准直光束,因此可实现的最小特征尺寸为 2 µm。
产品型号:UV-KUB 3   所在地:武汉市   更新时间:2025-07-02
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