CY-PLZ180-I-DC-Q 单靶等离子溅射镀膜仪(增强型)
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- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌
- 型号 CY-PLZ180-I-DC-Q
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/30 19:02:14
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技术参数:
产品名称 | 单靶等离子溅射镀膜仪(增强型) | |
产品型号 | CY-PLZ180-I-DC-Q | |
样 品 台 | 尺寸 | 100mm |
旋转速度 | 1~20rpm可调 | |
加热温度 | ≤500℃ | |
控温精度 | ±1℃ PID控温 | |
等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸x1 |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 300mm |
观察窗口 | 全向可视 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
上下盖材质 | 304不锈钢 | |
抽气接口 | KF25 | |
进气接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
电源配置 | 数量 | 直流电源x1 |
输出功率 | *大150W | |
溅射电源 | 3000V | |
*大溅射电流 | 50mA | |
真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
抽气接口 | KF25 | |
排气接口 | KF16 | |
抽气速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
极限真空度 | ≥1Pa | |
真空测量 | 电阻真空规 | |
其他 | 供电电源 | AC 220V 50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 570mm X 450mm X550mm | |
整机重量 | 30kg |