CY-PLZ180-I-DC-Q 单靶等离子溅射镀膜仪(标准型)
参考价 | ¥ 38000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-PLZ180-I-DC-Q
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/12 9:56:21
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
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应用领域 | 地矿,能源,建材/家具,电子/电池,钢铁/金属 |
技术参数:
产品名称 单靶等离子溅射镀膜仪(标准型) 产品型号 CY-PLZ180-I-DC-Q 样 品台 尺寸 100mm 旋转速度 1~20rpm可调 等离子溅射靶 数量 2英寸x1 冷却方式 自然冷却 真空腔体 腔体尺寸 φ180mm X 150mm 观察窗口 全向可视 腔体材料 高纯石英 开启方式 顶盖拆卸式 上下盖材质 304不锈钢 抽气接口 KF25 进气接口 1/4英寸卡套接头 电源配置 数量 直流电源x1 输出功率 *大150W 溅射电源 3000V *大溅射电流 50mA 真空系统 真空泵类型 双极旋片真空泵 抽气接口 KF25 排气接口 KF16 抽气速率 1.1L/s(4m3/h) 极限真空度 ≥0.1Pa 真空测量 电阻真空规 其他 供电电源 AC 220V 50Hz 整机功率 1.5kW 整机尺寸 570mm X 450mm X450mm 整机重量 30kg