CY-PLZ180-III-DC-Q 三靶等离子溅射镀膜仪(基础型)
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌
- 型号 CY-PLZ180-III-DC-Q
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/30 18:54:04
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技术参数:
产品名称 三靶等离子溅射镀膜仪(基础型) 产品型号 CY-PLZ180-III-DC-Q 样 品 台 尺寸 100mm 到靶面距离 20~35mm高度可调 等离子溅射靶 数量 2英寸 x3 冷却方式 自然冷却 真空腔体 腔体尺寸 φ180mm X 200mm 观察窗口 全向可视 腔体材料 高纯石英 开启方式 顶盖拆卸式 上下盖材质 304不锈钢 抽气接口 KF25 进气接口 1/4英寸卡套接头 电源配置 数量 直流电源x1 输出功率 *大150W 溅射电源 3000V *大溅射电流 50mA 真空系统 真空泵类型 双极旋片真空泵 抽气接口 KF25 排气接口 KF16 抽气速率 1.1L/s(4m3/h) 极限真空度 ≥1Pa 真空测量 电阻真空规 其 他 供电电源 AC 220V 50Hz 整机功率 1.5kW 整机尺寸 570mm X 450mm X550mm 整机重量 30kg