等离子Parylene派瑞林镀膜集成系统是一种适用于低压环境下最复杂涂布工艺的机器人驱动多腔室系统，是集成等离子的清洗与聚合系统。该广泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS所提供的Parylene 派瑞林真空镀膜系统具有以下优势：
1、在真空腔体中集成等离子源
2、兼容超净间的系统设计
3、经过验证且具有完整可塑性的生产流程
4、可以提供从定制化的涂覆系统和量身定制的工艺开发，到全面的耗材、备件供应以及长期的技术支持服务
等离子Parylene派瑞林镀膜集成系统Cluster System
| 尺寸 | L:2000mm W:1800mm H:2000mm |
| 重量 | 320kg |
| 腔体容量 | 50L |
| 3个工艺腔体 | VA L:300 W:300 H:300 |
| 等离子源 | 2.45 GHz, 1200 W 13.56 MHz, 600 W |
| 气路 | 3*3路气体通道（内置工艺腔室的气体分配系统） |
| 其他 | 气闸机械臂，如用于气闸的样品台 |
| 样品台 | 可定制化铝制样品台 |
| 真空连接 | DIN 63 ISO-KF |
| 排气 | 电磁式排气阀 |
| 3个真空泵系统 | 抽速40m3/h |
| 腔室门 | 用于维护检修 |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。
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