产品名称

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上

5、通风装置：不需要

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体，以获得的镀膜效果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀

纯净。

6 、已通过 CE 认证。

技术参数

1、电源： 220V

2、总功率： <2000W  （包括真空泵）

3、真空室： ?160mm×120mm

4 、样品台： ?50mm，且高度可调， 可同时进行 8 个 SEM 样品的镀膜

5 、max 均匀镀膜： ?45mm

产品规格

尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg

标准配件

1

金靶材

1 个

2

进气针阀

1 个

3

保险丝

2 个

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材