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沈阳科仪

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称 “公司”)创建于1958年,公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区,占地面积110亩,建筑面积3.5万平方米。多年来,公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展,是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地,先后组建“国家分子束外延技术开发实验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程研究中心” 等科研平台。

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