ULVAC愛發(fā)科 應(yīng)用與客戶案例

真空泵（高真空）渦輪分子泵 

什么是渦輪分子泵？

　渦輪分子泵是一種由帶有渦輪形葉片的轉(zhuǎn)子（動(dòng)葉片）和定子（定葉片）組成的分子泵。

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渦輪分子泵的特點(diǎn)

　渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片和保持靜止的固定葉片組成。轉(zhuǎn)子以每秒數(shù)萬次的速度旋轉(zhuǎn)，并可能因大氣中的應(yīng)力（阻力）而損壞。

　因此渦輪分子泵必須在一定的真空度下使用，因而需要干泵或油旋片真空泵等輔助泵。

【優(yōu)點(diǎn)】在分子流區(qū)域，排氣速度恒定，可以連續(xù)排氣。

【缺點(diǎn)】高速旋轉(zhuǎn)時(shí)要注意安全。

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渦輪分子泵的工作原理

　渦輪分子泵具有交替排列的旋轉(zhuǎn)葉片和靜止葉片。進(jìn)入進(jìn)氣口的氣體分子被快速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片賦予動(dòng)量，并被送往下級(jí)。通過多個(gè)壓縮階段，氣體分子被壓縮并被排出廢氣。

渦輪分子泵的主要應(yīng)用

　半導(dǎo)體制造設(shè)備、沉積設(shè)備、濺射設(shè)備、分析設(shè)備、蝕刻設(shè)備、加速器、FPD制造設(shè)備等。

?光刻機(jī)、?薄膜沉積設(shè)備、?刻蝕設(shè)備、?離子注入設(shè)備、?化學(xué)氣相沉積（CVD）、?物理氣相沉積（PVD）、?退火與擴(kuò)散等。

光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)。

薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導(dǎo)體或?qū)w。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積（CVD）、蒸發(fā)和濺射PVD。一般采用以磁懸浮分子泵為主的無油真空系統(tǒng)。

離子注入設(shè)備：離子注入是指在真空環(huán)境下，當(dāng)離子束射向固體材料時(shí)，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中的現(xiàn)象。離子注入是半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的主要技術(shù)，其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。

刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過程?？涛g的基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形?，F(xiàn)代化的干法刻蝕設(shè)備包括復(fù)雜的機(jī)械、電氣和真空系統(tǒng)，同時(shí)配有自動(dòng)化的刻蝕終點(diǎn)檢測和控制裝置。刻蝕應(yīng)用工況復(fù)雜，清潔性差，充入特種氣體種類繁多，因此需要特殊處理的干泵和磁懸浮分子泵。

應(yīng)用行業(yè)：

電子電氣領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域、醫(yī)療領(lǐng)域、光學(xué)儀器行業(yè)、冶金領(lǐng)域、真空鍍膜技術(shù)、航空航天領(lǐng)域等。

廣泛應(yīng)用于鍍膜、電子、半導(dǎo)體、太陽能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。

1 電子電氣?：在電子電氣領(lǐng)域，渦輪分子泵常用于離子注入機(jī)、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等半導(dǎo)體制造設(shè)備中，幫助實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境，從而提高制造精度和產(chǎn)品質(zhì)量?。

2 ?醫(yī)療?：在醫(yī)療領(lǐng)域，渦輪分子泵可用于醫(yī)療設(shè)備的制造，如負(fù)壓吸引系統(tǒng)等，同時(shí)也在醫(yī)藥制造中發(fā)揮重要作用?。

3 ?光學(xué)儀器?：渦輪分子泵在光學(xué)儀器中應(yīng)用廣泛，包括質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等設(shè)備，提供必要的真空條件，確保設(shè)備的正常運(yùn)行和精確測量?。

4 ?航空航天?：在航空航天領(lǐng)域，渦輪分子泵用于飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，確保發(fā)動(dòng)機(jī)在高空中的穩(wěn)定運(yùn)行?。

5 ?金屬冶煉?：在冶金領(lǐng)域，渦輪分子泵可用于抽取金屬溶液中的氣體，提升金屬純度?。

6 ?真空鍍膜技術(shù)?：渦輪分子泵在真空鍍膜技術(shù)中應(yīng)用廣泛，用于表面保護(hù)、裝飾涂層、顯示技術(shù)等?。

7 ?科研設(shè)施?：在科研設(shè)施中，渦輪分子泵用于核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等高能物理和科研項(xiàng)目中，提供清潔的超高真空環(huán)境?。

此外，渦輪分子泵還廣泛應(yīng)用于太陽能、真空爐、離子刻蝕、光盤制造、制燈、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位?。