MS120A 日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵
参考价 | ¥ 22500 |
订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本爱发科
- 型号 MS120A
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 13:50:00
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泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
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叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵
日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵
特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,实现耐腐蚀性
采用 ULVAC du 特设计的转子轴,实现高性能的粉末排出
实现接近大气压的连续抽气
应用
用于半导体和电子设备制造设备的
真空系统蚀刻、灰化、等离子清洗等。用于炉
烧结、渗碳等的真空系统锂离子电池制造设备的
真空系统 电极干燥、脱气、真空注射等医疗和食品
真空系统 冷冻干燥、真空干燥等
*MS1200A 可单独提供,另设控制板和传感器。请联系我们了解详情。
规格
型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
最大抽速 *1 | m3/小时 | 115 | 560 | 980 |
极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
电源 | 200V 等级:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V 等级:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
冷却水流量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
吹扫气体流量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
最大水蒸气容忍度 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
噪声 *2 | 分贝(A) | 61 | 62 | 64 |
入口 | KF50(卧式) / VG50(立式) | ISO-F-80 认证 | ISO-F-100 认证 | |
出口 | 肯氟烃40 | |||
重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
适用标准 | CE、cTUVus | |||
标准附件 | 快速手册, 电源连接器, 防水电缆夹, ??亓悠?, 电源连接器防护罩, 消音器 | |||
泵头选项 | 电源:200V 级或 400V 级 密封材料:FKM 或 FFKM | |||
外部选项 | Packege 排气口、抗震支架、LR 兼容单元(入口、远程)、吹扫气体阀 |