搭配LINTEC的环境温度补足式质流传感器，即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，可以对臭氧等高度可降解的气体进行流量控制。可搭载的选配规格包括：液化气体、小流量 F.S.、大流量范围、表面实装和接头名称。

原装供应 数字流量控制器 LINTEC林泰克 MC-3472L
原装供应 数字流量控制器 LINTEC林泰克 MC-3472L

使用范例

半导体生产前端工艺

由于CVD（化学气相沉积法）、ALD（原子层沉积法）镀膜设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。

此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 选择LINTEC高性能质量流量控制器MC-3000L，则可选配【液化气体】【最高工作温度50°C（可选至55°C）】等相应规格。

分析设备

分析设备可能需要控制极小流量，但一般质量流量控制器的最小F.S.为5SCCM，因此无法对应。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低流量范围。

此外，高性能质量流量控制器MC-3000L还标配死体积较小的隔膜阀。

详情请致电或邮件咨询。

规格表

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。

■简 介
●MC-3000L系列是可以确保精度于±1%S.P.（设定值）范围内的高性能数字通讯质量流量控制器
■特 点
●确保精度于±1%S.P.（设定值）范围内
●采用标准RS-485数字通讯接口
●搭配LINTEC的环境温度补足式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性