配備LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)充質(zhì)量流量傳感器，在±1%F.S.精度范圍內(nèi)減少壓力損失。
配備的高性能壓電控制閥，即使在低壓差壓力環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、精確的流量控制。
LINTEC林泰克 低壓差環(huán)境流量控制器 MC-3102S
LINTEC林泰克 低壓差環(huán)境流量控制器 MC-3102S

使用案例

低溫環(huán)境下低蒸氣壓氣體的流量控制

MC-3000S系列是LINTEC開發(fā)的具有壓力損失結(jié)構(gòu)的質(zhì)量流量控制器，即使在室溫下，當(dāng)二次側(cè)處于真空狀態(tài)時(shí)，也可以控制H2O等液體原料的流量。 建議使用將少量水蒸氣輸送到真空室的ITO濺射方法。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料，如XeF2，也可以進(jìn)行流量控制。

減壓罐容器（SDS 容器）的流量控制。

離子注入設(shè)備使用AsH3、PH3等特殊材料氣體，常使用安全輸送源（SDS）容器，以實(shí)現(xiàn)安全穩(wěn)定的輸送。 充注SDS的罐體壓力低于大氣壓，需要與低壓差環(huán)境相對(duì)應(yīng)的MFC。 MC-3000S系列產(chǎn)品具有低壓差結(jié)構(gòu)，可以滿足這一需求。

規(guī)格表

*此表僅顯示一般規(guī)格的 MFC。 根據(jù)可選規(guī)格而有所不同。

■簡(jiǎn) 介
●MC-3000S系列是利用LINTEC開發(fā)的低壓損設(shè)計(jì)， 針對(duì)低壓差環(huán)境的質(zhì)量流量控制器
■特 點(diǎn)
●開發(fā)的低壓損構(gòu)造，可在6Torr低壓差的環(huán)境下,控制10SCCM(N2 )的流量
●可運(yùn)用在AsH3和PH3雜質(zhì)摻入制程，亦可控制未加熱的XeF2或H2 O等固體、液體
●采用標(biāo)準(zhǔn)RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場(chǎng)的環(huán)境下亦能維持其安定性