搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化，可以對臭氧等高度可降解的氣體進(jìn)行流量控制。可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實(shí)裝和接頭名稱。

原裝LINTEC林泰克 一手供應(yīng) 數(shù)字流量控制器 MC-3252L
原裝LINTEC林泰克 一手供應(yīng) 數(shù)字流量控制器 MC-3252L

使用范例

半導(dǎo)體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD（化學(xué)氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【最高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應(yīng)規(guī)格。

分析設(shè)備

分析設(shè)備可能需要控制極小流量，但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5SCCM，因此無法對應(yīng)。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

■簡 介
●MC-3000L系列是可以確保精度于±1%S.P.（設(shè)定值）范圍內(nèi)的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器
■特 點(diǎn)
●確保精度于±1%S.P.（設(shè)定值）范圍內(nèi)
●采用標(biāo)準(zhǔn)RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性