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原裝LINTEC林泰克 西南供應(yīng) 數(shù)字流量控制器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號MC-3000L

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時間:2025-07-24 18:56:19瀏覽次數(shù):28次

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應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合
原裝LINTEC林泰克 西南供應(yīng) 數(shù)字流量控制器 MC-3000L
高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器MC-3000L
可確保精度范圍在±1%S.P.(設(shè)定值)的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器。

搭配LINTEC的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器,即使在低溫下也能實現(xiàn)高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化,可以對臭氧等高度可降解的氣體進(jìn)行流量控制。可搭載的選配規(guī)格包括:液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。

原裝LINTEC林泰克 西南供應(yīng) 數(shù)字流量控制器 MC-3000L
原裝LINTEC林泰克 西南供應(yīng) 數(shù)字流量控制器 MC-3000L

特點

  • 精度范圍±1%S.P.

  • 使用溫度5~50℃

  • 金屬密封件

  • 無塵生產(chǎn)(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)

  • 周圍溫度補償式傳感器

  • RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

  • 小流量F.S.

  • 液化氣體

  • 大流量范圍

使用范例

半導(dǎo)體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD(化學(xué)氣相沉積法)、ALD(原子層沉積法)鍍膜設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體,因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外,前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體,因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L,則可選配【液化氣體】【最高工作溫度50°C(可選至55°C)】等相應(yīng)規(guī)格。

分析設(shè)備

分析設(shè)備可能需要控制極小流量,但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5SCCM,因此無法對應(yīng)。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外,高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

規(guī)格表


溫度最下壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最小F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAu


※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。

■簡 介
●MC-3000L系列是可以確保精度于±1%S.P.(設(shè)定值)范圍內(nèi)的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器
■特 點
●確保精度于±1%S.P.(設(shè)定值)范圍內(nèi)
●采用標(biāo)準(zhǔn)RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性

原裝LINTEC林泰克 西南供應(yīng) 數(shù)字流量控制器



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