在LINTEC，我们于行业开发了符合SEMI认证标准的DeviceNet™通讯专用质量流量控制器MC-5000L。该系列产品配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的环境温度补足式质流传感器，还支持液化气体等多种选配规格。
LINTEC林泰克日本原装 高质量流量控制器 MC-5460L
LINTEC林泰克日本原装 高质量流量控制器 MC-5460L

特点

• 精度范围±1%S.P.

• 使用温度5～50℃

• 金属密封件

• 无尘生产（粒子标准监控）

• 环境温度补足式质流传感器

• DeviceNet™通讯

使用范例

配线简化，节省成本

越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。

规格表

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。

■简 介
●MC-5000L系列主要是根据SEMI标准所制成的DeviceNet®通讯接口质量流量控制器
■特 点
●通讯接口采用传感器驱动网络DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)    
●可依需求选择机台上侧或旁侧的通讯接口插座
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能    
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性