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当前位置：北崎国际贸易（北京）有限公司>>LINTEC林泰克>> MC-5100L半导体用LINTEC林泰克 质量流量控制器
| 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,综合 |
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在LINTEC，我们于行业开发了符合SEMI认证标准的DeviceNet™通讯专用质量流量控制器MC-5000L。该系列产品配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的环境温度补足式质流传感器，还支持液化气体等多种选配规格。
半导体用LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-5100L
半导体用LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-5100L
精度范围±1%S.P.
使用温度5～50℃
金属密封件
无尘生产（粒子标准监控）
环境温度补足式质流传感器
DeviceNet™通讯
小流量F.S.
液化气体
大流量范围
越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
■简 介
●MC-5000L系列主要是根据SEMI标准所制成的DeviceNet®通讯接口质量流量控制器
■特 点
●通讯接口采用传感器驱动网络DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)
●可依需求选择机台上侧或旁侧的通讯接口插座
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性
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