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北崎有貨LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器返回列表頁

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產(chǎn)品型號MC-5000L

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

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更新時間：2025-07-24 16:52:03瀏覽次數(shù)：27次

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產(chǎn)品分類品牌分類

LINTEC林泰克

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

北崎有貨LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器 MC-5000L
DeviceNet通訊接口專用質(zhì)量流量控制器。
最新的半導(dǎo)體制造設(shè)備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)，以達(dá)到高速控制和簡化布線的目的。

詳情介紹

在LINTEC，我們于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的DeviceNet™通訊專用質(zhì)量流量控制器MC-5000L。該系列產(chǎn)品配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
北崎有貨LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器 MC-5000L
北崎有貨LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器 MC-5000L

特點

精度范圍±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封件
無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
DeviceNet™通訊

選配規(guī)格

小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍

使用范例

配線簡化，節(jié)省成本

越來越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。

規(guī)格表

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	最小F.S.	最大F.S.	密封件
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_5SCCM	_200SLM	_Au

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

■簡介
●MC-5000L系列主要是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的DeviceNet®通訊接口質(zhì)量流量控制器
■特點
●通訊接口采用傳感器驅(qū)動網(wǎng)絡(luò)DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)
●可依需求選擇機(jī)臺上側(cè)或旁側(cè)的通訊接口插座
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性

北崎有貨LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器