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應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和 LINTEC 創(chuàng)的補(bǔ)充環(huán)境溫度的質(zhì)量流量傳感器，該傳感器支持液化氣體和其他可選規(guī)格。

特征

精度范圍±1%S.P.
金屬密封件
無塵生產(chǎn)（顆粒標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測）
環(huán)境溫度輔助質(zhì)量流量傳感器
EtherCAT通信

可選規(guī)格

小流量 F.S.
液化氣
流量范圍大

LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器西南優(yōu)勢供應(yīng) MC-5250C
LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器西南優(yōu)勢供應(yīng) MC-5250C

使用案例

EtherCAT通信設(shè)備的統(tǒng)一

越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信接口（數(shù)字I/F），用于機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)的高速控制。 MFC 具有 65,536 個(gè)用于 EtherCAT 通信的節(jié)點(diǎn)，MFC 的所有測量系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)組件都可以通過 EtherCAT 通信進(jìn)行統(tǒng)一。

規(guī)格表

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	敏 F.S.	馬克斯 F.S.	海豹
_15~35°C	_50kPa	_300kPa	_{±1%股份代價(jià)}	_2~100%F.S.	_10SCCM的	_300SLM	_金

此表僅顯示一般規(guī)格的 MFC。根據(jù)可選規(guī)格而有所不同。

■簡介
●MC-5000C系列主要是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的EtherCAT®通訊接口質(zhì)量流量控制器
■特點(diǎn)
●通訊接口采用SEMI E54.20-1108標(biāo)準(zhǔn)的EtherCAT®
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性

LINTEC林泰克質(zhì)量流量控制器西南優(yōu)勢供應(yīng)