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| 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,综合 |
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标准设备包括半导体制造工艺所需的金属密封件和 LINTEC 创的补充环境温度的质量流量传感器，该传感器支持液化气体和其他可选规格。
精度范围±1%S.P.
金属密封件
无尘生产（颗粒标准监测）
环境温度辅助质量流量传感器
EtherCAT通信
小流量 F.S.
液化气
流量范围大
EtherCAT质量流量控制器 LINTEC林泰克 MC-5000C
EtherCAT质量流量控制器 LINTEC林泰克 MC-5000C
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信接口（数字I/F），用于机械臂等运输系统的高速控制。 MFC 具有 65,536 个用于 EtherCAT 通信的节点，MFC 的所有测量系统和驱动系统组件都可以通过 EtherCAT 通信进行统一。
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 敏 F.S. | 马克斯 F.S. | 海豹 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%股份代价 | 2~100%F.S. | 10SCCM的 | 300SLM | 金 |
此表仅显示一般规格的 MFC。 根据可选规格而有所不同。
■简 介
●MC-5000C系列主要是根据SEMI标准所制成的EtherCAT®通讯接口质量流量控制器
■特 点
●通讯接口采用SEMI E54.20-1108标准的EtherCAT®
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性
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