通过使用热传感器，实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接触式热流量传感器和压电控制阀，可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度可达到±1.0％S.P.，数字通信方式可选择DeviceNet或EtherC

产品特点

• 超高速流量控制200msec

• 精度±1%S.P.

• 使用温度5～50℃

• 金属密封材

• 无尘（粒子标准监控）

• 周围温度补偿传感器

• 支持EtherCAT通讯方式

• 支持DeviceNet™通讯方式

质量流量控制器 北崎日本LINTEC林泰克 MC-7100D
质量流量控制器 北崎日本LINTEC林泰克 MC-7100D

超高速流量制御

使用范例

快速刻蚀工艺

在半导体制造工艺中，在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说，缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器，流量传感器与流量测量气体不接触，可实现200msec的超高速响应。同时，因为非接触式的特点，该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。

产品规格表