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MC-3472LLINTEC琳得科 质量流量控制器
参考价: 25190
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • MC-3472L 产品型号
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 成都市 所在地

访问次数:115更新时间:2025-03-28 14:29:17

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产品简介
产地类别 进口 应用领域 综合
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3472L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3472L


LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3472L


质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制,故不受温度及压力的影响,可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。

核心技术架构

传感系统:

热式传感:基于King's Law原理,采用毛细管式或旁路式设计,温度分辨率达0.01℃

阀体系统:

压电瓷阀(响应时间<10ms)

电磁比例阀(寿命>10?次循环)

温度最下压差最大压差精度控制范围最小F.S.最小F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAu


典型应用场景

1. 半导体制造:

晶圆刻蚀工艺(Cl?、CF?等特种气体控制)

CVD沉积(SiH?/N?O流量比控制±1%)

离子注入(BF?/PH?精确配气)

2. 新能源领域:

燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)

3. 制药行业:

生物反应器气体供应(O?/CO?/N?三联控)

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU),下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走,造成温度下降,为维持原本与比的温差,回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。



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