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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
|---|
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。
典型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl?、CF?等特种气体控制）
CVD沉积（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
4. 科研实验：
催化反应研究（多路气体并行控制）
| 温度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。
技术验证数据
案例1：半导体刻蚀工艺
控制气体：Cl?/HBr混合气
流量范围：50-200sccm
稳定性测试：8小时波动<±0.3%
匹配度：与终点检测系统同步误差
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