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MC-7100DLINTEC琳得科 质量流量控制器
参考价: 25020
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • MC-7100D 产品型号
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 成都市 所在地

访问次数:97更新时间:2025-03-27 15:34:55

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产品简介
产地类别 进口 应用领域 综合
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100D
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100D


LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-7100D


质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制,故不受温度及压力的影响,可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。

温度最小压差最大压差精度控制范围最小F.S.最大F.S.密封材
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAu


质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU),下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走,造成温度下降,为维持原本与比的温差,回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。利用产生的电力和气体流量的比例做比对、计算出流体的正确流量。加热的电压值是利用补偿环境温度后,补足与质流传感器之温差所得,故质流传感器的电压值不受周围温度影响。

当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。



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