奥林巴斯FPD显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用?？榛杓?，可在各种应用中实现观察条件。

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

全面可定制

MX63系列设计用于让用户能够选择各种光学器件满足其特定的检测和应用需求。该系统可使用所有观察方法。

用户还可从一系列的图像分析软件包中进行选择，以满足其特定的图像采集和分析需求。

两个系统兼容多种样品规格

MX63系统能够检测尺寸达200毫米的晶圆，而MX63L至大可检测300毫米的晶圆，两款具有相同的较小占用空间。MX63系列的?？榛杓瓶汕崴傻馗菽奶囟ㄐ枨蠖ㄖ葡晕⒕?。

奥林巴斯FPD显微镜技术参数