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掃描電鏡能譜一體機(jī)是一種將掃描電子顯微鏡和能譜分析儀集成在一起的設(shè)備，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高分辨率成像和元素成分分析。這種一體機(jī)在材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、生物學(xué)、電子工業(yè)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，為用戶提供微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分分析能力。

NANOS 分析型臺(tái)式掃描電子顯微鏡探測(cè)器

NANOS標(biāo)配二次電子探測(cè)器（SED）和背散射電子探測(cè)器（BSD）。BSD具有四分割分別成像功能，通過使用不同區(qū)域信號(hào)的組合，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的成分或形貌細(xì)節(jié)獨(dú)立成像，以及通過從多個(gè)方向突出顯示表面而具有“投影成像效果”的圖像。SED則負(fù)責(zé)收集從樣品表面發(fā)射的電子，提供清晰且高分辨率的表面敏感成像。SED生成的圖像能夠傳達(dá)表面形貌信息，由于束斑與樣品相互作用體積較小，通常具有更高的分辨率。

元素分析

NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測(cè)器（EDS）。通過用戶界面，用戶可以選擇EDX點(diǎn)分析或?qū)崟r(shí)元素面掃描。

優(yōu)中心樣品臺(tái)

NANOS是臺(tái)式掃描電鏡標(biāo)配優(yōu)中心設(shè)計(jì)樣品臺(tái)，能夠通過用戶控制界面實(shí)現(xiàn)電動(dòng)XY軸樣品臺(tái)移動(dòng)，在SEM成像模式下可采用優(yōu)中心設(shè)計(jì)樣品臺(tái)傾轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)樣品傾斜觀察，且樣品始終保持聚焦?fàn)顟B(tài)，無需重新對(duì)焦，用戶界面實(shí)時(shí)顯示精確樣品臺(tái)傾斜角度，最大傾斜角度為55°。

導(dǎo)航相機(jī)

NANOS在進(jìn)樣時(shí)，標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)會(huì)自動(dòng)對(duì)樣品進(jìn)行拍照實(shí)現(xiàn)樣品精準(zhǔn)導(dǎo)航。即便在高倍下，用戶可以輕松確定樣品位置。

低真空成像

NANOS標(biāo)配低真空成像功能，低真空成像模式能夠有效減少或消除樣品荷電對(duì)成像的影響。當(dāng)在高真空模式下觀察不導(dǎo)電的樣品時(shí)，電子積聚在樣品表面，會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重荷電現(xiàn)象，影響樣品觀察。NANOS 配備低真空模式以解決此問題。只需點(diǎn)擊鼠標(biāo)，即可輕松從高真空切換到低真空。

用戶操作界面

NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心，通過直觀的軟件界面進(jìn)行簡(jiǎn)單設(shè)置，即可完成樣品拍攝。該軟件為僅需快速簡(jiǎn)單SEM成像的人提供簡(jiǎn)易模式，同時(shí)也為深入進(jìn)行樣品分析需求提供高級(jí)模式。用戶可以通過無線鼠標(biāo)和鍵盤控制NANOS，并可以通過iPad實(shí)現(xiàn)設(shè)備遠(yuǎn)程操控。導(dǎo)航位置光標(biāo)始終處于激活狀態(tài)，用戶能夠清楚知道拍攝位置以及方便切換其他拍攝位置。

圖1 – 低真空模式圖像：風(fēng)干的未鍍膜角堇花瓣

圖2 – SE/BSE混合成像模式，可任意調(diào)節(jié)和顯示SE和BSE混合成像效果

圖3 – 空心針尖圖像，傾斜角度為-37°