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泵轴位置	卧式	输送介质	油泵
叶轮数目	多级	应用领域	化工,能源,电子/电池,电气,综合

日本ULVAC爱发科真空泵内置回油装置

VS650B／VS750B 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。可搭配罗茨泵获得更大的排气量。内置油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。
此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。

特点

可直连罗茨泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需支架直接搭载MBP。
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。油净化装置去除混入的杂质。

用途

光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备

规格

型号				VS650B-A	VS650B-W	VS650B- WL^※1	VS750B-A	VS750B-W
设计排气速度		50Hz	m³/ hr (L/min)	650（10,833）		600 （10,000）	750（12,500）
		60Hz		750（12,500）			无法运行
极限压力	GP关		Pa	≦ 8
	GP开			≦ 70
功耗(极限压力时）		50Hz	kW	8			11
		60Hz		11			ー
电机	型号			全封闭风冷　三相感应电机
	容量		kW (Poles）	22（4）
	电压	50Hz	V	200～240 / 380～415
		60Hz		200～240 / 380～460
噪音值^*２（极限压力时）		50Hz	dB	75		72	80
		60Hz		80			ー
使用油				ULVOIL R-72
所需油量			L	23～27	25～30		23～27	25～30
冷却方式				空冷	水冷		空冷	水冷
冷却水	初压		MPaG	ー	≦0.5		ー	≦0.5
	出入口压差			ー	≧0.1		ー	≧0.1
	冷却水量		L/min	ー	≧3.0		ー	≧3.0
	冷却水温度		℃	ー	5～30		ー	5～30
	冷却水Δｔ			ー	≦60		ー	≦60
吸气口法兰				DN 100 ISO-K
排气口法兰				DN 100 ISO-K
重量			kg	约 820
外观尺寸　W×D×H			mm	1490×905×705	1490×841×705		1490×905×705	1490×841×705
海外安全标准				ー

注意：本资料采用SI测量单位。
※1　VS650B-WL需50Hz／60Hz。改变电动皮带轮可使得在50Hz／60Hz下排气速度相同。
※2　平均声压级根据ISO2151进行测量?计算。

ULVAC 厂商介绍：

1952 年 ULVAC 成立时，它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司，他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。

自成立以来，ULVAC一直珍视这种创业精神，并与广泛行业的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板显示器、半导体和电子元件，以及汽车、食品和药品等一般工业设备，ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。

追求真空技术创造新价值

ULVAC集团是一家企业集团，为广泛的行业全面提供各种真空技术，包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。

在 ULVAC 集团内，零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。

通过与客户的沟通，共创繁荣的未来

ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。

尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大，但其冒险精神始终没有改变。

ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神，以速度感响应各领域的需求，为工业和科学的发展做出贡献。

零部件事业部

ULVAC株式会社零部件事业部

爱发科机工株式会社

爱发科低温有限公司

爱发科（宁波）有限公司

韩国爱发科低温公司

爱发科低温技术（宁波）有限公司

爱发科销售有限公司

爱发科科技有限公司

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