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泵轴位置	卧式	输送介质	油泵
叶轮数目	多级	应用领域	化工,能源,电子/电池,电气,综合

日本ULVAC爱发科螺杆型干泵真空排气

MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus
标准附属品		Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件		Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM
外部选配件		Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到达压力时
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
*4：Including a silencer

ULVAC 厂商介绍：

1952 年 ULVAC 成立时，它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司，他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。

自成立以来，ULVAC一直珍视这种创业精神，并与广泛行业的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板显示器、半导体和电子元件，以及汽车、食品和药品等一般工业设备，ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。

追求真空技术创造新价值

ULVAC集团是一家企业集团，为广泛的行业全面提供各种真空技术，包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。

在 ULVAC 集团内，零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。

通过与客户的沟通，共创繁荣的未来

ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。

尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大，但其冒险精神始终没有改变。

ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神，以速度感响应各领域的需求，为工业和科学的发展做出贡献。

零部件事业部

ULVAC株式会社零部件事业部

爱发科机工株式会社

爱发科低温有限公司

爱发科（宁波）有限公司

韩国爱发科低温公司

爱发科低温技术（宁波）有限公司

爱发科销售有限公司

爱发科科技有限公司

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