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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>> DAIHEN AGA-50B2DAIHEN 高频射频电源 AGA-50B2
MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供货周期 | 现货 | 货号 | 3D80-000601-14 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型号 | AGA-50B2 |
| PN | 3D80-000601-14 | 频率 | 60MHz |
| 输出功率 | 5000W | 设备状态 | Refurbished |
DAIHEN 高频射频电源 AGA-50B2 RF Generator 是一款经过长期验证的具有优秀输出性能和可靠性的高频射频发生器，能够在半导体制程中实现等离子体工艺优秀的再现性、稳定性和可控性。DAIHEN AGA系列射频电源能够对等离子工艺进行高性能，高可靠性和精确控制。
DAIHEN 高频射频电源 AGA-50B2 规格参数
设备品牌：DAIHEN
设备型号：AGA-50B2
AC 电源输入：200V~，55A，50/60Hz
RF 射频输出：60MHz，5000W
脉冲频率：1Hz~50KHz
频率稳定度：±0.01%以内
散热：水冷+风冷
水冷进水需求：Torque 30N·m（Max），水压 6.9KPa（Max）
设备尺寸：430 * 600 * 225 mm
设备重量：70kg
DAIHEN AGA-50B2 RF Generator 特点
1.精度高，整个输出范围内输出功率稳定
2.通过严格的设计和可靠性测试，实现了高可靠性和经过现场验证的耐久性
3.通过高速数字控制实现稳定的输出和保护功能
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