MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實(shí)機(jī)驗(yàn)證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應(yīng)用。

MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：RD5060Z

AC 電源輸入：3 phase~ ，480V，15A

RF 射頻輸出：DUAL 2.0KW，60MHz

通訊接口：CEX In/Out，Profibus，EtherNet，Sync In/Out，Reserved，RS-232C

設(shè)備散熱：水冷散熱

設(shè)備重量：445kg，98lbs